NF EN 62047-22:2014 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22 : méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples
2014NF EN 62047-22:2014 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22 : méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples