NF EN 62047-6:2010
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6 : méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince

Standard No.

NF EN 62047-6:2010

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2010

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Association Francaise de Normalisation

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NF EN 62047-6:2010

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• 2010 NF EN 62047-6:2010 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6 : méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince