NF EN 62047-11:2014 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11 : méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques
2014NF EN 62047-11:2014 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11 : méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques