NF EN 62047-16:2015
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 16 : méthodes d'essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS - Méthodes de la courbure de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux

Standard No.

NF EN 62047-16:2015

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2015

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Association Francaise de Normalisation

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NF EN 62047-16:2015

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• 2015 NF EN 62047-16:2015 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 16 : méthodes d'essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS - Méthodes de la courbure de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux