NF EN 62047-13:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13 : méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS

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NF EN 62047-13:2012

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2012

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Association Francaise de Normalisation

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• 2012 NF EN 62047-13:2012 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13 : méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS