NF EN 62047-12:2012
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12 : méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (M...

Standard No.
NF EN 62047-12:2012
Release Date
2012
Published By
Association Francaise de Normalisation
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NF EN 62047-12:2012

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  • 2012 NF EN 62047-12:2012 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12 : méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (M...



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